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3次元光学プロファイラーシステム(ZYGO Nexview)は、非接触で表面の3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。つなぎ合わせ機能により□46.5o範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密研磨面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)などができます。X-Yステージ可動範囲200o×200o。Z軸可動範囲100o

仕様

精密温度調整機能付クリーンブース

担当者

山本浩史室長
青山正樹技術職員[ aoyama@ims.ac.jp ]
近藤聖彦技術職員[ kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術職員
0564-55-7210(近藤、高田)
代表[ micro@ims.ac.jp ]

[支援形態/単価]

 

成果
公開
大学
官公庁
協力研究
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 4300円/時間
技術代行
所内 施設利用 消耗品実費
成果
非公開
民間 施設利用 8600円/時間
技術代行

  −: 支援なし