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集束イオンビーム加工を提供します。主に施設利用に対応します。

仕様
メーカー
JEOL
型式
JEM-9310FIB(P)
導入年度
平成14年度

(主な仕様)

イオン源
Ga液体金属イオン源
加速電圧
0.5〜30 kV
イオン電流
1 pA〜10 nA(10段階切替)
加工形状
矩形、直線、点
デポジション
カーボン化合物
試料サイズ
最大20 mm角
担当者

解良聡センター長
中尾聡研究員
松尾友紀子特任専門員
[ fib@ims.ac.jp ]
0564-59-5537(中尾)

[支援形態/単価]

 

成果
公開
大学
官公庁
協力研究
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 800円/時間
技術代行
所内※ 施設利用 250円/時間
成果
非公開
民間 施設利用 1500円/時間
技術代行

  ※: 所外研究者を含む場合は、無料
  −: 支援なし