• ホーム  >>  低真空分析走査電子顕微鏡

幅広い試料に対する、SEM観察とEDS元素分析の環境を提供します。SEM本体は、日立ハイテクノロジーズ社製SU6600。10〜300Paの低真空観察に対応し、絶縁性試料を導電処理なしで観察可能です。分解能は、高真空1.2nm(30kV)、低真空3.0nm(30kV)。EDS分析装置は、BrukerAXS社製 XFlash5060FQ及びXFlash6|10。表面凹凸の影ができにくく高感度なEDS検出器を搭載しています。温度を-20〜50℃程度で変えられるステージも利用可能ですので、ご相談下さい。

仕様
メーカー
日立ハイテクノロジーズ、ブルカー・エイエックスエス
型式
SU6600、QUANTAX XFlash 5060FQ+XFlash6|10コンバインシステム
導入年度
平成25年度

(主な仕様)

電子銃
Zr/Wショットキーエミッション形
加速電圧
0.5〜30 kV
照射電流
1 pA〜200 nA
倍率
10〜600,000 倍
像分解能
1.2 nm: 30 kV、高真空モード(< 10-3 Pa)
3.0 nm: 30 kV、低真空モード(60 Pa)
低真空範囲
最大直径2インチ
EDS 検出範囲
10〜300 Pa
試料サイズ
最大直径 150 mm
検出器
二次電子検出器、低真空用二次電子検出器、反射電子検出器、透過電子検出器
試料温度制御
-20〜50 ℃(オプションのMK3形クールステージ装着時のみ)
担当者

解良聡センター長
中尾聡研究員
酒井雅弘技術職員
松尾友紀子特任専門員
0564-59-5537(中尾)
代表[ sem@ims.ac.jp ]

[支援形態/単価]

 

成果
公開
大学
官公庁
協力研究
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 2400円/時間
技術代行
所内※ 施設利用 250円/時間
成果
非公開
民間 施設利用 4700円/時間
技術代行

  ※: 所外研究者を含む場合は、無料
  −: 支援なし