汎用のX線光電子分光器(Al, Mg-Kα線利用)を提供しています。施設利用として気軽に利用いただけます。ご利用のお問い合わせはUVSOR・酒井( sakai@ims.ac.jp )まで。

仕様
メーカー
Omicron
型式
EA-125
導入年度
平成23年度

(主な仕様)

電子分光器
静電半球型125mm、電子レンズ(静電+磁気レンズ)
X線源
ツインアノード(Mg、Al)、分光器なし
出力: 15 kV、20 mA(Mg) または 15 kV、34 mA(Al)
エネルギー分解能と計数率
Mg-Kα線を用いた清浄化処理を行っていない銀板のAg3d5/2、Entrance Slit 6 x 12 mm、半値幅は、パスエネルギー10 eVで0.9 eV(計数率5,500 cps)、パスエネルギー50 eVで1.4 eV(計数率60,000 cps)
Entrance Slit
(1) 6 x 12 mm
(2) φ6 mm
(3) φ2 mm
(4) φ1 mm
(5) 1 x 12 mm
真空度
4 x 10-8 Pa 程度(測定槽主排気はイオンポンプ、粗引きはターボ分子ポンプ)
装備機器
Arイオンスパッタガン(2014年度より公開予定)
制御系
OS: Windows XP
制御ソフト: Omicron EIS
データの持ち帰りは、テキストファイル形式など
担当者

解良聡センター長
小杉信博教授
酒井雅弘技術職員
稲垣裕一特任専門員
代表[ esca@ims.ac.jp ]
0564-55-7390(小杉)

[支援形態/単価]

 

成果
公開
大学
官公庁
協力研究
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 1000円/時間
技術代行
所内 施設利用 無料
成果
非公開
民間 施設利用 2000円/時間
技術代行

  −: 支援なし