3次元光学プロファイラーシステム（ZYGO Nexview）は、非接触で表面の3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。つなぎ合わせ機能により□46.5㎜範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密研磨面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)などができます。X-Yステージ可動範囲200㎜×200㎜。Z軸可動範囲100㎜

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師　［ kondou@ims.ac.jp ］
菊地拓郎技術員　[t-kikuchi@ims.ac.jp ]
水谷伸雄技術支援員
木村幸代技術員
0564-55-7213（菊地、近藤）
代表［ micro@ims.ac.jp ］

［支援形態／単価］

 

成果 公開	大学 官公庁	協力研究	−
		施設利用	無料
		技術代行	−
	民間	施設利用	4400円/時間
		技術代行	−
	所内	施設利用	消耗品実費
成果 非公開	民間	施設利用	8700円/時間
		技術代行	−

　　−：　支援なし

技術支援料　※成果公開を行う場合は2分の1とする。

区分	1時間当たりの技術支援料
技術開発	13200円/時間
設計製作	10800円/時間
技術補助	5600円/時間