• ホーム  >>  集束イオンビーム加工機

集束イオンビーム加工を提供します。主に施設利用に対応します。 (利用停止中)

仕様
メーカー
JEOL
型式
JEM-9310FIB(P)
導入年度
平成14年度

(主な仕様)

イオン源
Ga液体金属イオン源
加速電圧
0.5〜30 kV
イオン電流
1 pA〜10 nA(10段階切替)
加工形状
矩形、直線、点
デポジション
カーボン化合物
試料サイズ
最大20 mm角
担当者

横山利彦センター長
松尾友紀子特任専門員
[ fib@ims.ac.jp ]
0564-59-7428(松尾)

[設置場所:山手4号館103]

[支援形態/単価]

 

成果
公開
大学
官公庁
協力研究
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 1400円/時間
技術代行
所内※ 施設利用 250円/時間
成果
非公開
民間 施設利用 2700円/時間
技術代行

  ※: 所外研究者を含む場合は、無料
  −: 支援なし