-
ホーム >> 低真空分析走査電子顕微鏡
幅広い試料に対する、SEM観察とEDS元素分析の環境を提供します。SEM本体は、日立ハイテクノロジーズ社製SU6600。10〜300Paの低真空観察に対応し、絶縁性試料を導電処理なしで観察可能です。分解能は、高真空1.2nm(30kV)、低真空3.0nm(30kV)。EDS分析装置は、BrukerAXS社製 XFlash5060FQ及びXFlash6|10。表面凹凸の影ができにくく高感度なEDS検出器を搭載しています。温度を-20〜50℃程度で変えられるステージも利用可能ですので、ご相談下さい。
- メーカー
- 日立ハイテクノロジーズ、ブルカー・エイエックスエス
- 型式
- SU6600、QUANTAX XFlash 5060FQ+XFlash6|10コンバインシステム
- 導入年度
- 平成25年度
（主な仕様）
- 電子銃
- Zr/Wショットキーエミッション形
- 加速電圧
- 0.5〜30 kV
- 照射電流
- 1 pA〜200 nA
- 倍率
- 10〜600,000 倍
- 像分解能
- 1.2 nm： 30 kV、高真空モード（< 10-3 Pa）
3.0 nm： 30 kV、低真空モード（60 Pa） - 低真空範囲
- 最大直径2インチ
- EDS 検出範囲
- 10〜300 Pa
- 試料サイズ
- 最大直径 150 mm
- 検出器
- 二次電子検出器、低真空用二次電子検出器、反射電子検出器、透過電子検出器
- 試料温度制御
- -20〜50 ℃（オプションのMK3形クールステージ装着時のみ）
横山利彦センター長
石山修特任研究員 ［ o-ishiyama@ims.ac.jp ］
上田正技術員
外山亜矢技術支援員
0564-59-7457（石山）
[設置場所：実験棟B09]
［支援形態／単価］
| 成果 公開 |
大学 官公庁 |
協力研究 | − |
| 施設利用 | 無料 | ||
| 技術代行 | |||
| 民間 | 施設利用 | 3200円/時間 | |
| 技術代行 | |||
| 所内 | 施設利用 | 無料 | |
| 成果 非公開 |
民間 | 施設利用 | 6400円/時間 |
| 技術代行 |
−： 支援なし
分子・物質合成プラットフォーム
ナノテクノロジープラットフォーム
