高輝度で高い干渉性の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃（FEG）を搭載した電子顕微鏡。
ナノスケールオーダーの超高分解能の像観察や分析が可能。
エネルギー分散型　X線分析装置（EDS）による微小部の元素分析、組成マップを測定が可能。
STEM機能により走査透過像測定が可能。

メーカー

JEOL

型式

JEM-2100F

導入年度

平成15年度

（主な仕様）

電子銃

フィールドエミッション

加速電圧

200 kV

照射電流

0.23nm（粒子像）、0.1 nm（格子像）

倍率

X2,000　～　X1,500,000

試料

3mmφ以内

横山利彦センター長
伊木志成子特任専門員［ ishina@ims.ac.jp ］
上田正技術員
売市幹大技術員

0564-55-7428（伊木）

[設置場所：山手3号館1階TEM室]

［支援形態／単価］

　　　　－：　支援なし