[　Bruker Dimension XR Icon　NanoElectrical　]
形状測定、機械特性測定、電気特性測定、ケルビンプローブ測定に特化した走査プローブ顕微鏡を用いた共同研究を行います。

[　Bruker Dimension XR Icon　NanoElectochemical　]
電気化学測定に特化した走査プローブ顕微鏡を用いた共同研究を行います。

メーカー

Bruker

（主な仕様）

型式

Bruker Dimension XR Icon　NanoElectrical

導入年度

令和元年度

走査範囲

XY：> 85 µm, Z：> 9 µm

ノイズフロア

0.035 nm以下

試料サイズ

最大直径200 mm, 厚さ15 mm

自動ステージ

駆動範囲:180 x 150 mm 繰返し精度：3 µm

高解像CCDカメラ

5メガピクセル （デジタルズーム）

測定モード

形状測定、機械特性測定（位相モード、水平力顕微鏡モード、フォースカーブモード、ピークフォースマッピングモード等）、電気特性測定、ケルビンプローブ測定、光照射、磁場印加

付属装置

密閉型大気非曝露測定用ボックス

型式

Bruker Dimension XR Icon　NanoElectochemical

導入年度

令和元年度

走査範囲

XY：> 85 µm, Z：> 9 µm

ノイズフロア

0.035 nm以下

試料サイズ

最大直径200 mm, 厚さ15 mm

自動ステージ

駆動範囲:180 x 150 mm 繰返し精度：3 µm

高解像CCDカメラ

5メガピクセル （デジタルズーム）

測定モード

形状測定、機械特性測定（位相モード、水平力顕微鏡モード、フォースカーブモード、ピークフォースマッピングモード等）、電気化学原子間力顕微鏡動作、走査型電気化学顕微鏡動作

付属装置

密閉型大気非曝露測定用ボックス

横山利彦センター長
湊丈俊主任研究員［ minato@ims.ac.jp ］
上田正技術員
杉本敏樹准教授
0564-55-7330（湊）

[設置場所：実験棟106-108]

Bruker Dimension XR Icon　NanoElectrical
Bruker Dimension XR Icon　NanoElectochemical

［支援形態／単価］

成果 公開	大学 官公庁	協力研究	無料
		施設利用	−
		技術代行	−
	民間	施設利用	要相談
		技術代行	要相談
	所内	施設利用	無料 (協力研究として)
成果 非公開	民間	施設利用	要相談
		技術代行	要相談

　　　　−：　支援なし