マスクレス露光装置は、任意の形状をフォトマスクなしで直接描画する装置です。光源は405nmLEDで、露光範囲100㎜×100㎜、最少線幅1μmの描画が可能です。段差計は、150㎜までの領域でステッチングなしで測定ができます。
その他にも、精密温湿度調整付きのイエロークリーンブースは、フォトリソグラフィーに関する一連の作業（基板洗浄、各種レジスト塗布、露光、現像、アッシング、エッチング）に利用できます。

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師　[kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員［takada@ims.ac.jp］
木村幸代技術員　[s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7492（高田、木村）
代表［ micro@ims.ac.jp ］

［支援形態／単価］

成果 公開	大学 官公庁	協力研究	−
		施設利用	無料
		技術代行	−
	民間	施設利用	3100円/時間
		技術代行	−
	所内	施設利用	消耗品実費
成果 非公開	民間	施設利用	6100円/時間
		技術代行	−

　　−：　支援なし


技術支援料　※成果公開を行う場合は2分の1とする。

区分	1時間当たりの技術支援料
技術開発	13200円/時間
設計製作	10800円/時間
技術補助	5600円/時間