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3次元光学プロファイラーシステム(ZYGO Nexview)は、非接触で表面の3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。つなぎ合わせ機能により□46.5㎜範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密研磨面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)などができます。X-Yステージ可動範囲200㎜×200㎜。Z軸可動範囲100㎜

仕様

精密温度調整機能付クリーンブース

担当者

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [ kondou@ims.ac.jp ]
菊地拓郎技術員 [t-kikuchi@ims.ac.jp ]
水谷伸雄技術支援員
木村幸代技術員
0564-55-7213(菊地、近藤)
代表[ micro@ims.ac.jp ]

[支援形態/単価]

 

成果
公開
大学
官公庁
協力研究
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 4400円/時間
技術代行
所内 施設利用 消耗品実費
成果
非公開
民間 施設利用 8700円/時間
技術代行

  −: 支援なし


技術支援料 ※成果公開を行う場合は2分の1とする。

 区分  1時間当たりの技術支援料
 技術開発  13200円/時間
 設計製作  10800円/時間 
 技術補助  5600円/時間